-
1 sputtering chamber
1) Техника: распылительная камера -
2 sputtering chamber
English-Russian dictionary of electronics > sputtering chamber
-
3 sputtering chamber
распылительная камера, камера для катодного или анодного распыления -
4 sputtering chamber
распылительная камера, камера для катодного или анодного распыленияThe New English-Russian Dictionary of Radio-electronics > sputtering chamber
См. также в других словарях:
ЭПИТАКСИЯ — (от греч. epi на и taxis расположение, порядок), ориентированный рост одного кристалла на поверхности другого (подложки). Различают гетероэпитаксию, когда в ва подложки и нарастающего кристалла различны, и г о м о э п и т а к с и ю… … Физическая энциклопедия
ПЛАЗМЕННЫЕ УСКОРИТЕЛИ — устройства для получения потоков плазмы со скоростями 10 103 км/с, что соответствует кинетич. энергии ионов от =10 эВ до 105 107 эВ. На нижнем пределе энергии П. у. соседствуют с генераторами низкотемпературной плазмы плазмотронами, на верхнем с… … Физическая энциклопедия
ЭЛЕКТРОРАКEТНЫЕ ДВИГАТЕЛИ — (электрореактивные двигатели, ЭРД) космич. реактивные двигатели, в к рых направленное движение реактивной струи создаётся за счёт электрич. энергии. Электроракетная двигательная установка (ЭРДУ) включает собственно ЭРД, систему подачи и хранения… … Физическая энциклопедия